真空用継手・バルブ
真空バルブとは、半導体や電子部品、液晶パネルの製造などで広く使われる真空装置には専用のバルブがある。
閉止により大気圧と真空を分離する開閉バルブと、コンダクタンスを変動させるための可変コンダクタンスバルブまたはバリアブルリークバルブと呼ばれるバルブがある。さまざまな機構の組み合わせで大気圧から超高真空までの領域に対応する。
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